福特科的玻璃晶圆:
* 高容量双面抛光能力
* 大型镀膜机,倒角可达1.8米
* 批量生产成本效益高
玻璃晶圆可应用于:
* 3D 成像和传感
* 晶圆级封装
* 封装玻璃载体晶圆
* MEMS
* 微型显示器
* 微流控技术
规格参数
产品 |
窗口/晶圆 |
材质 | 熔融石英/光学玻璃/硅彩色玻璃滤光片 |
尺寸(mm) | 100mm/150mm/200mm/300mm |
厚度 最小厚度 (mm) | 0.2mm(100/150mm),0.3mm(200/300mm) |
厚度公差 (mm) | +/- 0.02mm (Commercial), +/- 0.002mm(Precision) |
表面质量 | 40-20 (Commercial), 10-5 (Precision) |
表面形状或透射波前 |
≤ 0.1 waves PV (per 25.4mm @ 632.8nm) |
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