玻璃晶圆



 福特科的玻璃晶圆:

* 高容量双面抛光能力

* 大型镀膜机,倒角可达1.8米

* 批量生产成本效益高

 

玻璃晶圆可应用于:

* 3D 成像和传感

* 晶圆级封装

* 封装玻璃载体晶圆

* MEMS

* 微型显示器

微流控技术

 

 

 

 

 

 

  规格参数

产品

窗口/晶圆
材质 熔融石英/光学玻璃/硅彩色玻璃滤光片
尺寸(mm) 100mm/150mm/200mm/300mm
厚度 最小厚度 (mm) 0.2mm(100/150mm),0.3mm(200/300mm)
厚度公差 (mm) +/- 0.02mm (Commercial),  +/- 0.002mm(Precision)
表面质量 40-20 (Commercial), 10-5 (Precision)
表面形状或透射波前
≤ 0.1 waves PV (per 25.4mm @ 632.8nm)

 

 

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